Анализ микро- и наноструктуры твердотельных объектов, измерение линейных размеров деталей структуры, наблюдаемых на изображении, и межплоскостных расстояний в режиме дифракции.
Применяется в материаловедении, микроэлектронике, геологии, биологии, металлургии и других отраслях науки и техники.
Основные технические характеристики
Разрешающая способность микроскопа: - по точкам, нм
0,23
Разрешающая способность микроскопа: - по линиям, нм
0,14
Диапазон регулировки увеличения, крат
50¸1500000
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ
80¸200
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
0,003-50
Погрешность измерений линейных размеров не более, %
6
Производитель
JEOL, Япония