Научно-исследовательский центр
по изучению свойств поверхности и вакуума

МЕРА ШИРИНЫ И ПЕРИОДА СПЕЦИАЛЬНЫЕ МШПС-2.0К

ОБОРУДОВАНИЕ

Передача размера единицы длины в диапазоне 10-9 ÷ 10-4 м и калибровка (поверка) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Применяется в микро-, опто-, наноэлектронике, нанотехнологии, микромеханике, фармацевтике и микробиологии, производстве полимеров и генная инженерия, создании наноструктурных материалов, оснащении органов государственных и метрологических служб.

Основные технические характеристики

  • Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t) 2,00 мкм
  • Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более ± 0,05 мкм
  • Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры (bu) 10 ÷ 500 нм
  • Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h) 100 ÷ 1400 нм
  • Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) 75 ÷ 980 нм
  • Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования), не более 5 нм
  • Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения размеров bu, h, δ, не более ± 2 нм
  • Предел допускаемых значений абсолютной погрешности определения размера a, не более ± 1 нм

ЗАЯВКА НА СОТРУДНИЧЕСТВО

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных

ОСТАВИТЬ ЗАЯВКУ

Нажимая на кнопку «Отправить заявку», вы соглашаетесь с условиями обработки персональных данных